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光学式エンコーダ用スケール

リニアスケール

RTL (ステンレススチールテープ)

スケール名

精度

スケールピッチ

熱膨張率 (20℃時)

長さ

対応リードヘッド

RTLF-S

RTLF20 スケール

20µm: ±5µm/m
40µm (高精度): ±5µm/m
40µm: ±15µm/m

20µm/40µm

10.1±0.2µm/m/℃

最長 10m (10m 超も対応可)

ATOMATOM DX

RTLC-S

RTLC20-S 光学式エンコーダスケール
20µm: ±5µm/m
40µm (高精度): ±5µm/m
40µm: ±15µm/m
20µm/40µm10.1±0.2µm/m/℃

最長 10m (10m 超も対応可)

VIONiCQUANTiCTONiCTONiC UHVTONiC FS

RTLA-S

RTLA-S 光学式エンコーダスケール

30µm: ±5µm/m
50µm: ±10µm/m

30µm/50µm

10.1±0.2µm/m/℃

RESOLUTE: 最長 21m

EVOLUTE: 最長 10.02m


RESOLUTERESOLUTE UHVRESOLUTE FSEVOLUTE

RTL (ステンレススチールテープ、トラック選択式)/FASTRACK

スケール名

精度

スケールピッチ

熱膨張率 (20℃時)

長さ

対応リードヘッド

RTLC (FASTRACK と組合せ可)

RTLC20 FASTRACK スケール

20µm: ±5µm/m

40µm (高精度): ±5µm/m
40µm: ±15µm/m


20µm/40µm


10.1±0.2µm/m/℃

最長 10m (10m 超も対応可)

VIONiCQUANTiCTONiCTONiC UHVTONiC FS

RTLA (FASTRACK と組合せ可)

RTLA/FASTRACK スケール

30µm: ±5µm/m

50µm: ±10µm/m


30µm/50µm

10.1±0.2µm/m/℃

RESOLUTE: 最長 21m

EVOLUTE: 最長 10.02m

RESOLUTERESOLUTE UHVRESOLUTE FSEVOLUTE

RKL (スリムステンレススチールテープ)

スケール名

精度

スケールピッチ

熱膨張率

長さ

対応リードヘッド

RKLC-S、RKLR-S

RKLC20 スケール

20µm: ±5µm/m

40µm (高精度): ±5µm/m

40µm: ±15µm/m


20µm/40µm

機材の熱膨張率と同じ (両端をエンドクランプで機材に固定時)

最長 20m (20m 超も対応可)

VIONiCTONiCTONiC UHVQUANTiC


RKLF-S

RKLF リニアスケール


20µm: ±5µm/m

40µm (高精度): ±5µm/m

40µm: ±15µm/m

20µm/40µm

機材の熱膨張率と同じ (両端をエンドクランプで機材に固定時)

最長 10m (10m 超も対応可)

ATOMATOM DX

RKLA-S

RKLA リニアスケール

±5µm/m

30µm

機材の熱膨張率と同じ (両端をエンドクランプで機材に固定時)

最長 21mRESOLUTE

REL (ZeroMet™ 製)

スケール名

精度

スケールピッチ

熱膨張率 (20℃時)

長さ

対応リードヘッド

RELM20、RELE20

RELM RSLM スケール

1m まで±1µm、1m 超は±1µm/m

20µm

0.75±0.35µm/m/℃

最長 1.5m

VIONiCTONiCTONiC UHVTONiC FS

RELA30

RELA スケール

±1µm (1m 以下)、±1µm/m (1m 超)

30µm

0.75±0.35µm/m/℃

最長 1.5m

RESOLUTERESOLUTE UHVRESOLUTE FS

RSL (ステンレススチール)

スケール名

精度

スケールピッチ

熱膨張率 (20℃時)

長さ

対応リードヘッド

RSLM20、RSLE20、RSLC20

RELM RSLM スケール

±1.5µm (1m 以下)、±2.25µm (2m 以下)、±3µm (3m 以下)、±4µm (5m 以下)

20µm

10.1±0.2µm/m/℃

最長 5m

VIONiCTONiCTONiC UHVTONiC FS

RSLA30

RELA スケール

±1.5µm (1m 以下)、±2.25µm (2m 以下)、±3µm (3m 以下)、±4µm (5m 以下)

30µm

10.1±0.2µm/m/℃

最長 5m

RESOLUTERESOLUTE UHVRESOLUTE FS

RCL (ガラススケール)

スケール名

精度

スケールピッチ

熱膨張率

長さ

対応リードヘッド

RCLC

RCLC スケール

±3µm

20µm/40µm

約 8µm/m/℃

最長 130mm

ATOMATOM DX

パーシャルアークスケール

RKL (スリムステンレススチールテープ)

スケール名

精度

スケールピッチ

熱膨張率 (20℃時)

長さ

対応リードヘッド

RKLC-S

RKLC パーシャルアークスケール

20µm: ±5µm/m

40µm: ±15µm/m


20µm/40µm

10.1±0.2µm/m/℃

最長 20m (20m 超も対応可)

VIONiCTONiCQUANTiC

RKLF-S

RKLF パーシャルアークスケール

±15µm/m

40µm

10.1±0.2µm/m/℃

最長 10m (10m 超も対応可)

ATOMATOM DX

RKLA-S

RKLA パーシャルアークスケール

±5µm/m

30µm


10.1±0.2µm/m/℃

最長 21m

RESOLUTE

ロータリスケール

RES (ステンレススチールリング)

スケール名

平均取付け精度* (リング直径に依存)

スケールピッチ

熱膨張率 (20℃時)

リング直径


対応リードヘッド

RESM

RESM-REST スケール(スケールページ)

(直径 300mm) ±3.1arc 秒
(直径 150mm) ±5.5arc 秒
(直径 75mm) ±9.5arc 秒


20µm/40µm

15.5±0.5µm/m/℃


52mm~550mm


VIONiCTONiCTONiC UHVTONiC FSQUANTiC

RESA30

RESA スケール(スケールページ)

(直径 300mm) ±3.1arc 秒
(直径 150mm) ±5.5arc 秒
(直径 75mm) ±9.5arc 秒


30µm

15.5±0.5µm/m/℃

52mm~550mm


RESOLUTERESOLUTE UHVRESOLUTE ETRRESOLUTE FS

*「平均的」取付けとは、目盛り誤差と取付け誤差、そして各誤差同士のある程度の相殺が組み合わさった結果です。


REX (超高精度ステンレススチールリング)

スケール名

平均取付け精度* (リング直径に依存)

スケールピッチ

熱膨張率 (20℃時)

リング直径


対応リードヘッド

REXM20、REXT20

REXM スケール(スケールページ)

(直径≥100mm)±1arc 秒
(直径 75mm)±1.5arc 秒
(直径≤57mm)±2arc 秒

20µm

15.5±0.5µm/m/℃

52mm~417mm


VIONiCTONiCTONiC UHV

REXA30

REXA スケール(スケールページ)

(直径≥100mm)±1arc 秒
(直径 75mm)±1.5arc 秒
(直径≤57mm)±2arc 秒


30µm

15.5±0.5µm/m/℃


52mm~417mm


RESOLUTERESOLUTE UHVRESOLUTE ETRRESOLUTE FS

*「平均的」取付けとは、目盛り誤差と取付け誤差、そして各誤差同士のある程度の相殺が組み合わさった結果です。


RCDM (ガラスディスク)

スケール名

スケールピッチ

熱膨張率 (20℃時)

ディスク外径

対応リードヘッド

RCDM

RCDM スケール(スケールページ)

20µm/40µm

約 8µm/m/℃

17mm~108mm

ATOMATOM DX


CENTRUM™ (ステンレススチールディスク)

スケール名

スケールピッチ

熱膨張率 (20℃時)

ディスク外径

対応リードヘッド

CSF40

CENTRUM™ CSF40 ディスク

40µm

15.5±0.5µm/m/℃

取付け方法:

ねじ: 38.4mm~120mm

クランプ: 31mm~120mm

他のサイズについては、お問い合わせください。


ATOM DX